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概覽

RF-101J型SF?凈化處理系統(tǒng)

產品用途|水浴加熱 ? 一站式處理 ? 多功能選配

產品型號RF-101J型

產品名稱SF?凈化處理系統(tǒng)

輸出終壓50 bar 5 m3/h@液態(tài)SF6 64 m3/h，

無油增壓機極限真空度0.1mbar

真空泵31.3 m3/h，

真空壓縮機極限真空度1mabr

性能

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配置

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